【摘 要】
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利用粉末溅射,研究了SnO2/CeO2微型平面薄膜.结果表明:薄膜最佳掺杂范围(5%-20%)、最佳灵敏度膜厚(150 nm)、响应时间与恢复时间随膜厚变化遵循次方定律;制备出稳定性好的气
【机 构】
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山东大学信息科学与工程学院,山东大学物理与微电子学院
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利用粉末溅射,研究了SnO2/CeO2微型平面薄膜.结果表明:薄膜最佳掺杂范围(5%-20%)、最佳灵敏度膜厚(150 nm)、响应时间与恢复时间随膜厚变化遵循次方定律;制备出稳定性好的气敏元件,灵敏度S为20-80,对航空汽油气选择性Sl为8-20,响应时间τs<10 s,恢复时间τc<15 s.并对影响灵敏度测试的条件,例如测试电压、湿度影响、反应温变等进行了分析.
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