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本文提出用梯度有效折射率平面波导形成小型波导传感器的方案 ,对关键单元技术进行了分析和实验 ,给出了结构参数测量结果
小型波导传感器单元技术研究
【摘 要】
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本文提出用梯度有效折射率平面波导形成小型波导传感器的方案 ,对关键单元技术进行了分析和实验 ,给出了结构参数测量结果
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室!成都,610209,PSIZ,Badernerstrasse569,CH-8048Zurich,Switzerland
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1996年S1期
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