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在片散射参数的精确测量离不开传输线特征阻抗的精确定义。介绍了基于Multi—TRL算法的共面波导型传输线特征阻抗的定标方法,具体包括对Multi-TRL校准算法进行推导和优化得到传播常数,再利用传播常数计算得到传输线特征阻抗。在此基础上,开发了传输线特征阻抗提取软件wyb,并对特征阻抗测试结果进行了验证。测量片上参考标准RM8130上的校准标准,分别作为wyb软件和Wincal软件的输入量来提取特征阻抗。数据表明:在5—10GHz频段内,特征阻抗幅值相差小于±0.6%,相位相差小于±0