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根据线性弹性理论集中力的假定，计算了矩形膜淀积在InSb衬底上的三维应力分布；讨论了钝化膜对InSb衬底应力的影响；提出了提高InSb平面二极管可靠性的措施．
InSb红外探测器衬底应力的模拟与分析
【摘 要】
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根据线性弹性理论集中力的假定，计算了矩形膜淀积在InSb衬底上的三维应力分布；讨论了钝化膜对InSb衬底应力的影响；提出了提高InSb平面二极管可靠性的措施．
【机 构】
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西安电子科技大学微电子所,西安空军工程大学
【出 处】
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西安电子科技大学学报
【发表日期】
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2001年3期
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