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Effects of electric field fringe on performances of grid strip capacitive MEMS devices
【机 构】
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theKeyLaboratoryofRFCircuitsandSystemofMinistryofEducation,StateKeyLaboratoryofTransducerTechnology,
【出 处】
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高技术通讯：英文版
【发表日期】
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2011年2期
【基金项目】
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Supported by the National Natural Science Foundation of China （ No. 60903195 ） and the Key Technological Problems Tackling Project of Wuhan （No. 200750499172）.
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