【摘 要】
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报道了用ECR离子源的高电荷态离子~(40)Ar~(10+)入射到p型Si表面的实验研究,通过实验测量到的Si原子和Si~(2+)离子的200nm-1000nm光谱,研究了谱线产生的机理。实验结果表明:
【机 构】
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咸阳师范学院物理学系,咸阳师范学院物理学系 陕西 咸阳 712000,中国科学院近代物理研究所,甘肃 兰州 730000,陕西 咸阳 712000
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报道了用ECR离子源的高电荷态离子~(40)Ar~(10+)入射到p型Si表面的实验研究,通过实验测量到的Si原子和Si~(2+)离子的200nm-1000nm光谱,研究了谱线产生的机理。实验结果表明:低速高电荷态离子与固体表面相互作用中,可有效地激发原子和离子的特征谱线,分析了这一现象和相互作用过程的发光机理。
We report the experimental study on the surface of p-type Si with highly charged ions ~ (40) Ar ~ (10+) of ECR ion source. The measured Si atoms and Si ~ (2+) Spectroscopy, the mechanism of spectral line production was studied. The experimental results show that the characteristic spectra of atoms and ions can be effectively excited in the interaction between low-charged and highly charged ions and the solid surface, and the luminescence mechanism of this phenomenon and the interaction process are analyzed.
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