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微机械谐振式传感器已经成为微型机电系统（MEMS）领域的研究热点。讨论了微悬臂梁谐振式气体传感器的工作原理，介绍微悬臂梁表面修饰的关键技术、主要方法和基于微悬臂梁的谐振式气体传感器领域的研究状况以及近五年以来该领域的研究进展，并对基于微悬臂梁的谐振式气体传感器的发展方向和应用前景做了展望。
微悬臂梁谐振式气体传感器研究进展
【摘 要】
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微机械谐振式传感器已经成为微型机电系统（MEMS）领域的研究热点。讨论了微悬臂梁谐振式气体传感器的工作原理，介绍微悬臂梁表面修饰的关键技术、主要方法和基于微悬臂梁的谐振式
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2008年11期
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