【摘 要】
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V型电热执行器结构简单、执行力大、能够输出直线型位移,广泛用于MEMS系统中.利用热电效应,对V型电热执行器进行了讨论,得到了执行器上温度分布、最大位移以及阶跃响应时间的
【机 构】
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西安明德理工学院 西安710124
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V型电热执行器结构简单、执行力大、能够输出直线型位移,广泛用于MEMS系统中.利用热电效应,对V型电热执行器进行了讨论,得到了执行器上温度分布、最大位移以及阶跃响应时间的理论分析值,并利用有限元分析软件ANSYS进行了仿真验证,结果表明理论分析值和仿真结果保持一致.对执行器的几何参数对器件性能的影响进行研究,搭建测试平台对执行器的性能进行测试,14 V电压下可以在4 ms内达到稳定的工作状态.
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