【摘 要】
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对１．３μｍ和１．５５μｍ波长的Ｓｉ１－ｘＧｅｘ波长信号分离器（ＷＳＤ）和Ｓｉ１－ｘＧｅｘ／Ｓｉ应变超晶格（ＳＬＳ）红外探测器的集成结构进行了系统的分析和优化设计．优化结果为：（１）对Ｓｉ１－ｘＧｅｘＷＳＤ，Ｇｅ含量ｘ＝０．０５．波导的脊高和腐蚀深度分别为３μｍ和２．６μｍ．对应于λ１＝１．３μｍ和λ２＝１．５５μｍ波长的波导
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对１．３μｍ和１．５５μｍ波长的Ｓｉ１－ｘＧｅｘ波长信号分离器（ＷＳＤ）和Ｓｉ１－ｘＧｅｘ／Ｓｉ应变超晶格（ＳＬＳ）红外探测器的集成结构进行了系统的分析和优化设计．优化结果为：（１）对Ｓｉ１－ｘＧｅｘＷＳＤ，Ｇｅ含量ｘ＝０．０５．波导的脊高和腐蚀深度分别为３μｍ和２．６μｍ．对应于λ１＝１．３μｍ和λ２＝１．５５μｍ波长的波导脊宽分别为１１μｍ和８．５μｍ．（２）对Ｓｉ１－ｘＧｅｘ／ＳｉＳＬＳ探测器，Ｇｅ含量ｘ＝０．５．探测器的厚度为５５０ｎｍ，由２３个周期的６ｎｍＳｉ０．５Ｇｅ０．５＋１７ｎｍＳｉ组成．对应于λ１＝１．３μｍ和λ２＝１．５５μｍ波长的探测器长度分别为１ｍｍ和２ｍｍ．
The integrated structure of Si1-xGex wavelength signal separator (WSD) and Si1-xGex / Si strained superlattice (SLS) infrared detectors with 1.3μm and 1.55μm wavelength has been systematically analyzed and optimized. The optimized results are as follows: (1) For Si1-xGexWSD, Ge content x = 0.05. Waveguide height and corrosion depth of 3μm and 2.6μm, respectively. The waveguide widths corresponding to the wavelengths λ1 = 1.3 μm and λ2 = 1.55 μm were 11 μm and 8.5 μm, respectively. (2) For Si1-xGex / SiSLS detectors, Ge content x = 0.5. The thickness of the detector is 550 nm and consists of 23 cycles of 6 nm Si 0.5 Ge 0.5 + 17 nm Si. The detector lengths corresponding to the wavelengths λ1 = 1.3 μm and λ2 = 1.55 μm were 1 mm and 2 mm, respectively.
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