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在低温下，将基材浸渍在含配合物TiF6^2-,F^-离子捕获剂H3BO3，及加有结晶诱导剂锐钛矿TiO2纳米晶的过饱和水溶液中，在基材上沉积锐钛矿型TiO2薄膜，研究了TiF6^2-水溶液的浓度，反应物TiF6^2-和H2BO3的摩尔比、沉积时间、反应温度等对沉积TiO2薄膜的结构和性能的影响，并用UV－Vis,XRD和SEM等对TiO2薄膜的透明性，厚度，物相和形貌等进行了表征，用亚甲蓝的光催化降解，评价了TiO薄膜的光催化活性。