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采用辉光离子共渗技术对TC4合金表面进行等离子Mo-B共渗处理,研究了温度对涂层表面形貌和涂层厚度的影响.用扫描电镜和能谱分析了涂层的微观形貌和截面元素分布特点,用X射线衍射仪分析涂层的相结构.结果表明,不同温度下辉光离子Mo-B共渗的表面形貌不一样,1050℃的涂层表面比950℃的涂层表面更光滑平整;不同温度下涂层的厚度也不一样,1050℃的涂层厚度可达128 μm,而950℃的涂层厚度为60μm,高温下更有利于制备出合适的涂层;表面涂层主要由Mo和TiB2组成.