【摘 要】
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为了提高TbDy-Fe膜的低场磁敏性，采用离子柬溅射沉积（IBSD）法制备TbDy-Fe超磁致伸缩薄膜，分别研究了纯Fe膜与TbDy-Fe单层膜、TbDy-Fe／Fe耦合多层膜的复合及磁场下溅射沉积对TbDy-F
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为了提高TbDy-Fe膜的低场磁敏性，采用离子柬溅射沉积（IBSD）法制备TbDy-Fe超磁致伸缩薄膜，分别研究了纯Fe膜与TbDy-Fe单层膜、TbDy-Fe／Fe耦合多层膜的复合及磁场下溅射沉积对TbDy-Fe膜磁致伸缩性能的影响；用振动样品磁强计（VSM）测试薄膜磁滞回线，用电容位移测量仪测试薄膜悬臂梁自由端偏转量，并计算出磁致伸缩系数λ。结果表明，由IBSD法制备的纯Fe膜、TbDy-Fe单层膜、TbDy-Fe／Fe复合膜的易磁化轴均平行于膜面，TbDy-Fe／Fe复合膜在低场下的磁化强度与磁导率
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