【摘 要】
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为从根本上提升高纯铝合金气体生产水平,需要分析高纯铝合金内部夹渣以及气体含量对溅射镀膜影响。实际实验结果表明,在高纯铝合金内部夹渣尺寸达到超过临界值时,夹杂及气体
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为从根本上提升高纯铝合金气体生产水平,需要分析高纯铝合金内部夹渣以及气体含量对溅射镀膜影响。实际实验结果表明,在高纯铝合金内部夹渣尺寸达到超过临界值时,夹杂及气体会影响到薄膜质量。本文就针对此,分析保障高纯铝合金气体纯度的原因,提出高纯铝合金夹杂对溅射工艺的影响,最后对高纯铝合金气体以及杂质进行管控,以供参考。
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