【摘 要】
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采用两次液相外延（ＬＰＥ）技术制备了１．３μｍＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ内含吸收光栅的增益耦合型分布反馈（ＤＦＢ）激光器，成功地利用湿法腐蚀光栅技术，控制了吸收光栅的形状和占空比，实现了增益耦合型ＤＦＢ激光器在室温下的脉冲激射
【机 构】
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清华大学电子工程系集成光电子学国家重点联合实验室
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采用两次液相外延（ＬＰＥ）技术制备了１．３μｍＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ内含吸收光栅的增益耦合型分布反馈（ＤＦＢ）激光器，成功地利用湿法腐蚀光栅技术，控制了吸收光栅的形状和占空比，实现了增益耦合型ＤＦＢ激光器在室温下的脉冲激射，器件表现出了ＤＦＢ模式的单模工作特性。
A 1.3μm InGaAsP / InP gain-coupled distributed feedback (DFB) laser with absorption grating was fabricated by two liquid phase epitaxy (LPE) techniques. The wet etching technique was successfully used to control the shape and duty cycle of the absorption grating Ratio, achieving a pulsed lasing of a gain-coupled DFB laser at room temperature, the device exhibits single mode operation in DFB mode.
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