【摘 要】
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本文从瑞利一索末菲衍射公式出发,对接近式光刻机曝光系统进行理论分析和计算,得出其光学性能参数。同时给出依据这些参数所设计的系统所得的结果。
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本文从瑞利一索末菲衍射公式出发,对接近式光刻机曝光系统进行理论分析和计算,得出其光学性能参数。同时给出依据这些参数所设计的系统所得的结果。
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