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为了适应紫外探测技术的迅速发展,满足对紫外光源和紫外探测器校准的需求,建立了紫外-真空紫外光谱辐照度校准装置.装置由标准光源(氘灯)、标准探测器(增强型硅光二极管探测器)、紫外单色仪、真空仓等组成.装置采用双标准比对的方式对被测仪器和器件进行校准.即用标准光源和标准探测器分别对被检紫外光源和被检探测器进行量值传递.校准的光谱范围为110～400 nm.对探测器校准的不确定度最大为12％(k=2),对光源的校准不确定度最大为20％(k=2).