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本文提出了应用扫描隧道显微镜(STM)纳米云纹法的测量面内位移的原理.测量中,扫描隧道显微镜的探针扫描线作为参考栅,物质原子晶格栅结构作为试件栅,由这两组栅线干涉形成云纹进行纳米级变形测量.同时,利用PZT控制载物台使试件沿栅线的垂直方向移动,来实现从0到2π的四步相移.文中对扫描隧道显微镜纳米云纹的形成原理和测量方法以及相移技术进行了详尽的讨论.并运用该方法对高纯定向裂解石墨(HOPG)的纳米级变形虚应变进行了测量研究.