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本文介绍了电子元器件气密封装内的水汽含量对器件可靠性的影响,封装内水气的三个主要来源及控制方法.
封装内水气含量的影响及控制
【摘 要】
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本文介绍了电子元器件气密封装内的水汽含量对器件可靠性的影响,封装内水气的三个主要来源及控制方法.
【机 构】
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清华大学微电子所
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2002年6期
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