【摘 要】
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设计并制作了一种重排无阻塞型的8×8 SOI热光波导开关阵列。开关单元采用了MM I-MZI结构的2×2光开关。整个器件的开关时间约为2μs。器件中开关单元功耗小于240mW。消光比
【机 构】
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北京工商大学信息工程学院,中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,
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设计并制作了一种重排无阻塞型的8×8 SOI热光波导开关阵列。开关单元采用了MM I-MZI结构的2×2光开关。整个器件的开关时间约为2μs。器件中开关单元功耗小于240mW。消光比在17~22dB范围内变化。功耗和开关速度都明显优于SiO2基和聚合物基的开关阵列。
A kind of rearranged non-blocking 8 × 8 SOI thermal optical waveguide switch array is designed and fabricated. The switch unit uses a 2 x 2 optical switch MM I-MZI structure. The entire device switching time is about 2μs. Switch unit power consumption of less than 240mW. Extinction ratio in the range of 17 ~ 22dB change. Power consumption and switching speed are significantly better than the SiO2-based and polymer-based switch array.
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