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特种气体的技术和市场现状徐有林洪才兴特种气体是六十年代中期发展起来的新兴工业体系，作为基础化工材料，其应用范围十分广泛；大型石油化工装置自动化仪表需用多种规格的标准气、校正气和零点气；半导体器件，尤其是大规模和超大规模集成电路生产中，几乎各道工序都需...
特种气体的技术和市场现状
【摘 要】
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特种气体的技术和市场现状徐有林洪才兴特种气体是六十年代中期发展起来的新兴工业体系，作为基础化工材料，其应用范围十分广泛；大型石油化工装置自动化仪表需用多种规格的标准气
【机 构】
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南化集团公司研究院
【出 处】
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科技与经济
【发表日期】
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1997年04期
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