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通过在线镀膜玻璃技术的研究,设计一种APCVD双向层流结构的反应器,其中进气腔设置不等宽流道,促进化学先驱气体扩散和反应沉积,从而提高了膜层均匀性。
双向层流反应器结构设计与膜层均匀性探讨
【摘 要】
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通过在线镀膜玻璃技术的研究,设计一种APCVD双向层流结构的反应器,其中进气腔设置不等宽流道,促进化学先驱气体扩散和反应沉积,从而提高了膜层均匀性。
【机 构】
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漳州旗滨玻璃有限公司
【出 处】
：
玻璃
【发表日期】
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2015年04期
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