热压印聚合物成型体脱模过程中接触脱离分析

来源 :山东科技大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhefen
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热压印光刻技术中,聚合物成型体在脱模阶段的变形破损关系到压印质量的高低。为了提高热压印质量,研究脱模过程中模板和聚合物成型体之间的接触力变化至关重要。采用理论分析、模型试验和有限元法数值模拟分析热压印脱模中的接触脱离过程,得到不同脱模位移的等效应力云图和脱模接触力变化曲线。结果显示:脱模过程中聚合物微结构的根部和顶部边缘有应力集中和变形现象,通过计算聚合物根部节点和顶部节点的接触力大小,得出接触力峰值是聚合物出现应力集中和变形的原因。实际脱模操作时应加强对聚合物成型体根部和顶部边缘的保护,通过增涂低表面能
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