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本文简要地综述了多种技术途径制备ＳＯＩ材料的发展现状，并着重讨论了ＳＩＭＯＸ／ＳＯＩ的潜在优点、发展趋势及其在宇航微电子技术发展中的应用前景。
SOI技术的发展及其在航天技术领域的应用
【摘 要】
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本文简要地综述了多种技术途径制备ＳＯＩ材料的发展现状，并着重讨论了ＳＩＭＯＸ／ＳＯＩ的潜在优点、发展趋势及其在宇航微电子技术发展中的应用前景。
【机 构】
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航天工业总公司西安微电子技术研究所
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1995年2期
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