论文部分内容阅读
以ＴｉＣｌ４，ＳｒＣｌ２．６Ｈ２Ｏ为主要原料，采用溶胶－凝胶法制备出掺Ａｌ＾３＋的钛酸锶薄膜，分析了薄膜的表面形貌和晶相组成，并比较了铝含量不同的ＳｒＴｉ１－ｘＡｌｘＯ３－δ薄膜的氧敏性能，实验结果表明：掺摩尔分类为０．０１的铝的钛酸锶薄膜表现出较高的氧敏性，但是，铝的掺入并没有消除钛酸锶薄膜的半导体特在中性气氛附近从ｎ型向ｐ型转变。在此基础上，又合了了ＳｒＴｉ０．９９Ａｌ０．０１Ｏ３－δ－ＣｒＯ