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文章介绍了MEMS传感器的几种真空密封方法,提出了一种真空密封方法的设想.
MEMS传感器的真空密封技术
【摘 要】
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文章介绍了MEMS传感器的几种真空密封方法,提出了一种真空密封方法的设想.
【机 构】
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模拟集成电路国家重点实验室,中国电子科技集团公司
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2005年3期
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