直流反应磁控溅射法制备二氧化钛薄膜的光响应

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wkkyo

【摘要】

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采用直流反应磁控溅射的方法在镀有ITO的导电玻璃衬底上沉积了二氧化钛薄膜,分别用拉曼光谱和吸收光谱研究了薄膜的结构,通过光电流研究了二氧化钛薄膜的紫外光响应.在100s的

【作者】

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张利伟张兵临姚宁樊志琴杨仕娥鲁占灵

【机构】

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郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

直流反应磁控溅射法制备二氧化钛薄膜光响应导电玻璃光电流紫外光探测器材料 DC reactive magnetron sputtering TiO_2

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采用直流反应磁控溅射的方法在镀有ITO的导电玻璃衬底上沉积了二氧化钛薄膜,分别用拉曼光谱和吸收光谱研究了薄膜的结构,通过光电流研究了二氧化钛薄膜的紫外光响应.在100s的时间内光电流能达到最大值的96%,当停止紫外光照射时,光电流在200s的时间内能恢复到暗电流,二氧化钛薄膜对紫外光的灵敏性和稳定的光响应表明二氧化钛薄膜有可能成为一种新的紫外光探测器材料.

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