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在固定床反应器中，对不同反应压力下直接法合成甲基氯硅烷的原料氯甲烷及硅粉的转化率进行了研究。采用氯原子守恒的方法计算氯甲烷的转化率，并提出对反应后固体残留物进行热解重量分析（TGA）得到硅粉平均转化率的新测量方法。研究表明，在相同反应压力下，原料氯甲烷的转化率和副产物甲基三氯硅烷的选择性随反应时间的变化具有相同趋势。在一定压力范围内，氯甲烷和硅粉的平均转化率均随反应压力的升高而提高，提高反应压力有助于优化反应过程。