【摘 要】
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利用多弧离子镀技术制备的ＴｉＮ等各种硬质膜已经广泛应用于各种工模具表面强化[1 ] 。硬质膜质量的提高主要依赖于多弧离子镀膜机的技术进步。这种技术进步的实质在于更好地消除
【基金项目】
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广东省高教厅重点项目 !( 970 0 32 )
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利用多弧离子镀技术制备的ＴｉＮ等各种硬质膜已经广泛应用于各种工模具表面强化[1 ] 。硬质膜质量的提高主要依赖于多弧离子镀膜机的技术进步。这种技术进步的实质在于更好地消除靶材液滴飞溅 ,提高靶材蒸发粒子的离化率[2 ] ,扩大真空室内等离子体均匀区范围 ,实现大束流离子束辅助增强沉积[3] 。从俄罗斯引进的Ｂｕｌａｔ 6多弧离子镀膜机 ,结构独特 ,沉积速率快 ,绕镀性好 ,可实现大束流离子束增强沉积 ,膜 /基结合力高 ,可对大尺寸模具镀制ＴｉＮ等硬质膜。1 Ｂｕｌａｔ 6多弧离子镀膜机的组成Ｂｕｌａｔ
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