弧源靶相关硕士博士期刊学术论文

利用多弧离子镀技术制备的ＴｉＮ等各种硬质膜已经广泛应用于各种工模具表面强化[1 ] 。硬质膜质量的提高主要依赖于多弧离子镀膜机的技......