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来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
本文介绍我们通过掩膜图形的设计,在(100)单晶硅上利用氢氧化钾各向异性腐蚀制作错综复杂的正八边形单晶硅膜的方法。据此技术可获得最小外接圆半径仅为腐蚀深度的2.67倍的小尺寸正八边
【作 者】
:
战长青
庞江涛
刘理天
钱佩信
【机 构】
:
清华大学微电子学研究所
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
1998年04期
【关键词】
:
硅膜
掩膜
补偿技术
外接圆半径
腐蚀深度
近似圆
图形的
等厚
动力机械
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