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针对钛合金耐磨性差、易产生氢脆的特性，以格栅状高纯度固体石墨做源极，钛合金Ti6A14V做阴极，氩气作为工作气体，依靠辉光放电和空心阴极效应在Ti6A14V表面制备渗碳合金层；X射线衍射和辉光放电光谱试验显示，合金层由高硬度相TiC及游离态减磨C相组成；渗层内C元素的含量呈梯度分布；表面硬度大幅度提高，由表及里硬度梯度降低；反复试验表明，试样周围高浓度、稳定的渗碳气氛对形成理想的渗碳效果是非常重要的．