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铜蒸气激光诱导硅掺硼的实验研究钱育军，潘佰良，姚志欣，齐仲甫（浙江大学物理系，杭州３１００２７）制作ＰＮ结的传统方法是扩散和离子注入法，但装置较复杂，处理步骤多，结厚，不易控制，无法重掺。而激光诱导可利用激光的能量高度集中特性，使半导体表面的极浅层迅...
铜蒸气激光诱导硅掺硼的实验研究
【摘 要】
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铜蒸气激光诱导硅掺硼的实验研究钱育军，潘佰良，姚志欣，齐仲甫（浙江大学物理系，杭州３１００２７）制作ＰＮ结的传统方法是扩散和离子注入法，但装置较复杂，处理步骤多，结厚，不易控制，无法重掺。而激光诱导
【机 构】
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浙江大学物理系
【出 处】
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量子电子学
【发表日期】
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1994年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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