Heteroepitaxy of semiconductor thin films

来源 :半导体学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yxzapricot
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The heteroepitaxy of semiconductor thin films is a cornerstone of semiconductor devices and is naturally preferred to grow on matched substrates from the view point of material epitaxy. However, the heteroepitaxy is always performed on mismatched substrat
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