【摘 要】
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在偏振成像和激光功率测量技术领域，凡涉及偏振光的定量测量，都会由于光束的偏振态对探测器的影响而产生显著的误差。这种现象主要是由于许多类型的光探测器存在偏振敏感响应引
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院红外成像材料与器件重点实验室
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在偏振成像和激光功率测量技术领域，凡涉及偏振光的定量测量，都会由于光束的偏振态对探测器的影响而产生显著的误差。这种现象主要是由于许多类型的光探测器存在偏振敏感响应引起的。本文对光电探测器的偏振响应进行了分析，推导了光电探测器偏振相关损耗的斯托克斯模型。分析了SiNx钝化膜对InGaAs探测器偏振响应的影响。结果表明，无SiNx钝化膜时，随着入射角度的增加，偏振响应损耗明显增加，而随着波长的增加，偏振响应损耗明显降低；采用SiNx钝化膜时，随着波长的增加，偏振响应损耗先减小后增加。由于设计的SiNx薄膜的增
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