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阐述了Cu—W(Mo)薄膜结构的演变与各种条件的关系，并分析了结构演变后薄膜的性能变化。结果表明，沉积条件、退火、离子束的轰击、辐照和薄膜成分比的变化都能引起薄膜的结构演变，其中离子束的轰击与辐照是研究薄膜结构变化的主要手段。
铜钨（钼）薄膜的结构演变及性能
【摘 要】
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阐述了Cu—W(Mo)薄膜结构的演变与各种条件的关系，并分析了结构演变后薄膜的性能变化。结果表明，沉积条件、退火、离子束的轰击、辐照和薄膜成分比的变化都能引起薄膜的结构演
【机 构】
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湖南大学材料科学与工程学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2004年F10期
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