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给出了在离子注入过程中金属间化合物生长的一个数学模型。在准静态近似下,利用分区处理和引入快、慢变量的方法,给出了该模型的近似解。得到了生长速率与微缺密度、注量率、热发射率之间的定量关系。
离子注入过程中金属间化合物的生长模型
【摘 要】
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给出了在离子注入过程中金属间化合物生长的一个数学模型。在准静态近似下,利用分区处理和引入快、慢变量的方法,给出了该模型的近似解。得到了生长速率与微缺密度、注量率、
【机 构】
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低能核物理研究所
【出 处】
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北京师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1990年3期
【基金项目】
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“八六三”高科技研究资助项目
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