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基于微电子机械系统(MEMS)技术的样品预处理生物芯片是一种微型化的生物样品预处理器,它具有体积小、试剂消耗少、处理速度快、可实现集成自动化等优点,成为微全分析系统(μ-TAS)研究的热点和难点.综述了基于MEMS技术的3类具有不同功能的样品预处理生物芯片,介绍了样品预处理芯片的原理、结构、分类及应用,并探讨了其发展趋势.