超声楔键合Au/Al和Al/Au界面IMC演化

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基于固体相变理论,研究Au丝、Al丝超声楔-楔键合接头的温度长期可靠性。200℃下,存储时间〈48h时,Au/Al接头界面并未发生明显变化;随着接头存储时间增加,界面金属间化合物(IMC)开始由焊盘向引线方向生长(垂直生长);240h时,Al焊盘完全被消耗,接头连接界面部位生成Au5A12,周边为Au2AI;继续增加存储时间,IMC向接头水平方向生长(水平生长),Au,A12向更稳定的Au2Al转变,IMC与引线之间形成严重的Kirkendall孔洞。Al/Au系统相对稳定得多,界面IMC生长缓慢,然而,
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