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Pt原子百分含量对FePt合金薄膜结构的影响
Pt原子百分含量对FePt合金薄膜结构的影响
来源 :吉林师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:dellson
【摘 要】
:
采用直流磁控溅射在SiO2(0001)基片上制备了不同Pt原子百分含量的FePt合金薄膜,薄膜样品经过650℃热处理1h,得到了L10有序结构.利用X射线衍射对样品的结构进行了分析,结果表明Pt原
【作 者】
:
张玉梅
刘梅
张伟
李海波
【机 构】
:
吉林师范大学凝聚态物理与材料科学研究所
【出 处】
:
吉林师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2008年1期
【关键词】
:
磁控溅射
L10有序相
Pt原子百分含量
magnetosputtefing
L10 ordered phase
Pt concentration
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采用直流磁控溅射在SiO2(0001)基片上制备了不同Pt原子百分含量的FePt合金薄膜,薄膜样品经过650℃热处理1h,得到了L10有序结构.利用X射线衍射对样品的结构进行了分析,结果表明Pt原子百分含量对形成L10有序结构有明显的影响.
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