A COMPLEX—TYPE FOCUSSED MAGNTRON FOR SPUTTERING

来源 :核技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：energ10

【摘要】

：

The design of a small complex-type focussed magnetron with a long target-life used for excited multi-atoms beam film deposition in hard coatings is described.Th

【作者】

：

郑思孝

【机构】

：

InstituteofNuclearScienceandTechnology

【出处】

：

核技术：英文版

【发表日期】

：

1994年2期

【关键词】

：

薄膜生长磁子溅射源聚焦原子束钛靶

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The design of a small complex-type focussed magnetron with a long target-life used for excited multi-atoms beam film deposition in hard coatings is described.The magnetron tunnel of the magentron source was constructed by a planar unbalanced magnetic annu

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