【摘 要】
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最近的工作进行了论证计算机控制抛光机(CCP)加工的效率。写入的计算机算法预测每个抛光周期的面形进展。用CCP的四个周期抛光了一块直径1.8米的轻质玻璃反射镜。采用预测程
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最近的工作进行了论证计算机控制抛光机(CCP)加工的效率。写入的计算机算法预测每个抛光周期的面形进展。用CCP的四个周期抛光了一块直径1.8米的轻质玻璃反射镜。采用预测程序对每个周期提供所期望的面形修整值。把均方根误差为0.16波长(λ=0.633微米)的反射镜面修整到0.04波长,抛光时间仅用了72小时。由于计量不精确,虽然这次面形修整比预计的修整时间拖长,但这样快速的误差校正还是证明了CCP是非常重要的加工工具。
Recent work has demonstrated the efficiency of computer controlled polisher (CCP) processing. The computer algorithm written predicts the progress of the polygons per polishing cycle. Polished a piece of lightweight glass mirror 1.8 meters in diameter with four cycles of CCP. Predictive programs are used to provide the desired face shape trim value for each cycle. The mirror surface with root mean square error of 0.16 wavelength (λ = 0.633 μm) was trimmed to 0.04 wavelength and the polishing time was only 72 hours. Due to inaccurate metrology, although this surface finishing is longer than the expected finishing time, such rapid error correction proves CCP is a very important processing tool.
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