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钢铁表面化学气相沉积TiN的过渡层

来源 :北京科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：vbsunboy

【摘 要】

：

研究了3种钢铁样品表面在化学气相沉积TiN时的过渡层、研究中发现Ti与N可以通过TiN涂层与铁形成过渡层,而钢中原有的C也可在气相沉积时向外扩散至TiN涂层中。在TiN沉积过程中

【作 者】

：

马肇曾 尹秀兰 丁建国 

【机 构】

：

北京科技大学化学系,北京科技大学物质结构分析中心,北京科技大学物质结构分析中心

【出 处】

：

北京科技大学学报

【发表日期】

：

1993年2期

【关键词】

：

化学气相沉积 氮化钛 过渡层 chemical vapour deposition  titanium nitride  interlayers 

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研究了3种钢铁样品表面在化学气相沉积TiN时的过渡层、研究中发现Ti与N可以通过TiN涂层与铁形成过渡层,而钢中原有的C也可在气相沉积时向外扩散至TiN涂层中。在TiN沉积过程中,由于N在γ-Fe中的扩散速率远高于Ti,所以纯铁样品的过渡层包括x-Fe+Fe_2Ti+Fe_2N+TiN与x-Fe+Fe_2N两个分层。

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