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本文讨论了通过“多约束非线性方程组”解析真空紫外薄膜光学常数的方法。编制的VUV—ROCP微机软件,可由真空紫外反射率解析出真空紫外薄膜光学常数和入射光的偏振度。运用该软件对不同工艺的Au、Pt、Al样品的反射率进行解析,得到了它们的真空紫外薄膜光学常数,并与国外报道的结果进行了比较。
真空紫外薄膜光学常数的研究
【摘 要】
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本文讨论了通过“多约束非线性方程组”解析真空紫外薄膜光学常数的方法。编制的VUV—ROCP微机软件,可由真空紫外反射率解析出真空紫外薄膜光学常数和入射光的偏振度。运用该
【出 处】
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光学机械
【发表日期】
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1990年6期
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