陶瓷硅材料的制备及其特性

来源 :云南师范大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mohang
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文章研究了用来作为多晶硅薄膜太阳电池衬底的陶瓷硅材料的制备方法及其结构.对不同烧结条件制备的样品进行了XRD和SEM的测试和分析.测试分析的结果表明:形成了表面平整的陶瓷硅材料.用此方法可以获得性能良好的硅太阳电池衬底材料.
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