椭偏透射法测量氢化非晶硅薄膜厚度和光学参数

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xyzsoft

【摘要】

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针对多角度椭偏测量透明基片上薄膜厚度和光学参数时基片背面非相干反射光的影响问题,报道了利用椭偏透射谱测量等离子增强化学气相沉积法(PECVD)制备的a-Si:H薄膜厚度和光学

【作者】

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廖乃镘李伟蒋亚东匡跃军祁康成李世彬吴

【机构】

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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学光电信息学院; 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都610054; 成都610054;

【出处】

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物理学报

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

：

椭偏测量透射法光学参数氢化非晶硅薄膜

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针对多角度椭偏测量透明基片上薄膜厚度和光学参数时基片背面非相干反射光的影响问题,报道了利用椭偏透射谱测量等离子增强化学气相沉积法(PECVD)制备的a-Si:H薄膜厚度和光学参数的方法,分析了基片温度Ts和辉光放电前气体温度Tg的影响.研究表明,用椭偏透射法测量的a-Si:H薄膜厚度值与扫描电镜(SEM)测得的值相当,推导得到的光学参数与其他研究者得到的结果一致.该方法可用于生长在透明基片上的其他非晶或多晶薄膜.

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