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着重论述了RF/微波MEMS元件及其制造技术、封装要求和设计,并在此基础上阐述RF/微波MEMS元件的应用电路和系统.
RF／微波无线系统中的MEMS技术
【摘 要】
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着重论述了RF/微波MEMS元件及其制造技术、封装要求和设计,并在此基础上阐述RF/微波MEMS元件的应用电路和系统.
【机 构】
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国营970厂
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2002年2期
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