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电子和半导体行业对纯水水质要求较高，纯水制备过程中需逐级去除各种污染物，最终达到用水要求。文章针对典型种类的污染物，阐述了当前工程中已得到广泛应用的污染物去除设备及典型纯水制备工艺路线，以供相关人员参考。
电子和半导体行业纯水制备设备分析
【摘 要】
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电子和半导体行业对纯水水质要求较高，纯水制备过程中需逐级去除各种污染物，最终达到用水要求。文章针对典型种类的污染物，阐述了当前工程中已得到广泛应用的污染物去除设备及典型纯水制备工艺路线，以供相关人员参考。
【出 处】
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中国高新科技
【发表日期】
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2020年01期
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