基于数字调谐方法的微悬臂梁品质因数的研究

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wqkabc0

【摘要】

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品质因数(Q值)是影向微悬臂梁设备灵敏度的关键因素.针对微悬臂梁在空气中品质因数低的问题,利用基于DSP的数字锁相技术,通过一种正反馈方法,对微悬臂梁的振动能量损耗进行补

【作者】

：

朱龙洋鲁健吴亚雷许晓慧褚家如

【机构】

：

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系

【出处】

：

纳米技术与精密工程

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

品质因数微悬臂梁数字调谐数字锁相 quality factor microcantilever digital tuning digital pha

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品质因数(Q值)是影向微悬臂梁设备灵敏度的关键因素.针对微悬臂梁在空气中品质因数低的问题,利用基于DSP的数字锁相技术,通过一种正反馈方法,对微悬臂梁的振动能量损耗进行补偿,将微悬臂梁的品质因数从181提高至871.实验表明,使用数字正反馈电路后,微悬臂梁振幅随其工作频率的变化表现出了更高的灵敏度,从而能有效提高微悬臂梁用于微小形变检测时的检测灵敏度.

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