【摘 要】
：
最近,对改进微电子学制造技术的光刻工艺给予了很大注忌。正在研制用电子束和 x-射线曝光方法来改进低达1微米极限,并延伸到亚微米范围的光学分辨率。然而,所有这些技术的应
论文部分内容阅读
最近,对改进微电子学制造技术的光刻工艺给予了很大注忌。正在研制用电子束和 x-射线曝光方法来改进低达1微米极限,并延伸到亚微米范围的光学分辨率。然而,所有这些技术的应用却在制出高分辨率抗蚀剂掩膜后,采用精确付蚀工艺的限制。
Recently, a great deal of attention has been devoted to the photolithography process for improving microelectronics manufacturing technology. E-beam and x-ray exposure methods are being developed to improve the resolution down to the 1 micron limit and to the optical resolution in the submicron range. However, the application of all of these techniques has been limited by the precise etching process after a high resolution resist mask has been made.
其他文献
文章从政策制度、医疗机构、患者和信息网络技术等方面,阐述了基层医院在分级诊疗和双向转诊实施过程中存在的问题与困难,并提出了解决问题的相应策略。
治疗分泌性中耳炎的传统方法多采用咽鼓管吹张、导管通气或鼓膜穿刺、鼓室T型管置管等，其疗效评价不一。为探索治疗的新方法，1996年5月～1997年8月我科应用鼻窦内窥镜下咽鼓管置
福建省政和县原县委书记丁仰宁在任不到三年收受红包等非法收入上百万元 ,前不久被检察机关批捕。他收红包多了 ,颇有“心得体会” ,还总结了十种送红包的形式。第一种是利用
上海虹桥国际机场股份有限公司党委十分重视党风廉政建设,把反腐倡廉的要求纳入企业行政、业务部门的职责范围,贯穿到企业管理的各项制度中,有力地促进了公司的党风廉政建设
荫罩型彩显管在很多方面是一种比较合理的彩色电视机显示器件,好象是三个独立的CRT每一个CRT代表一种原色,但具有公共的屏“公共的偏转线圈”由于三个枪不可能都位于管子的主
一、刷新地址的检错和纠错的提出我所研制的S—7计算机是一个要求高可靠,(?)计算机。为了提高机器的运算速度和接口的能力,在该机的外围机中采用了动态MOS随机存贮器,其容量
3 风窗刮水系统和洗涤系统的检修 3.1 风窗刮水系统不工作风窗刮水系统不工作,应进行以下项目的检修。 a.熔丝F9是否熔断。 b.刮水器/洗涤器开关的A8号端子与电源间的电路是
给摩托车添加润滑油,是每一个摩托车手应该而且必须做好的,决不能因一时疏忽而给自己造成不必要的麻烦。摩托车润滑油的使用有讲究,概括来讲应该是“不多、不少、不混用”。
当前,我国计算机研制的决策者面临的一个问题:我国自行研制的DJS 200系列机能否与IBM 360/370系统各档机器兼容?能否大量投产?有生命力么?最近我们在业余时间翻阅了“IBM 30