GaN薄膜大型V形表面坑的形成和光学性质

来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：guoke3zhang

【摘要】

：

研究了用MOCVD设备在高温和低V/Ⅲ条件下生长的GaN薄膜表面存在的与位错相连的大型V形表面坑,并提出了一个有关质量疏运机制的模型以解释其形成机理.由衬底扩散上出来的Al原

【作者】

：

高志远段焕涛郝跃李培成张金凤

【机构】

：

西安电子科技大学微电子学院

【出处】

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材料研究学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

无机非金属材料半导体材料缺陷材料表征表面坑 inorganic non-metallic materials semiconductor materai

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划(973计划);

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研究了用MOCVD设备在高温和低V/Ⅲ条件下生长的GaN薄膜表面存在的与位错相连的大型V形表面坑,并提出了一个有关质量疏运机制的模型以解释其形成机理.由衬底扩散上出来的Al原子对大型坑的形成具有辅助作用,并阻止了深能级杂质或空位缀饰与坑相连的位错.GaN内的位错是非辐射复合中心,但对深能级发光不起作用.

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